成都新德南光機械設備公司 >> 行業應用>> 真空燒結爐遇到3種情況的應急措施

                    真空燒結爐遇到3種情況的應急措施

                    來源:成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間:2021-03-13

                    真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。

                    一、停電  

                    1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。  
                    2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,繼續運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。  
                    3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。 

                    二、加熱電源掉電  

                    1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。  
                    2、接地故障。  
                    3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。  
                    4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。  

                    三、充氣氣體停止  

                    1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。  
                    2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
                    3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。  
                    4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。

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